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異型管終止退火時,應留意以下關鍵點: (一)退火氛圍 一般是應用純氫退火氛圍,氛圍的純度超過99.99%,假如別的一部分是稀有氣體,可獲得純度低一點,但不包含過多的O2、水蒸汽。
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